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中国科学院上海材料与制造大型仪器区域中心

大型仪器区域中心是中科院依据区域特点与学科共性,结合区域内装备需求以及现有装备,采取鼓励大型仪器设备自主创新研制、功能开发,择优支持购置、研制先进的大型仪器设备等措施,与区域内其他资源有效组合,依托优秀研究所建设集大型仪器设备、一流科技人才、重大科研任务于一体的特色明显、功能强大的综合型研究实验中心。

上海材料与制造大型仪器区域中心筹建于2007年5月,于2008年4月正式启动,经院计划财务局的组织协调和各有关研究所的友好协商,决定上海材料与制造大型仪器区域中心的建设工作由上海微系统所牵头,与上海技物所、上海硅酸盐所、上海光机所、上海有机所、上海应用物理所等六家单位共同组建完成,所涉及的学科领域包括信息功能材料与器件、无机非金属材料、有机材料、材料设计与先进制造等四部分。通过为完善已有学科领域的综合装备能力,部署和发展能源材料和资源环境材料等学科领域的装备能力,建设成一个集材料设计、先进制造、分析检测和性能表征等功能齐全、能力突出的一流大型仪器区域中心,2010年,经院计财局批准,新增苏州纳米所和宁波材料所为成员单位,使本中心在地域上辐射到长三角地区,形成了长三角地区的大型网络,为长三角地区的科研提供了强有力的技术支持,中心现有大型仪器超过百台,总金额约6亿元。

中心定位准确,各研究所高度重视,院领导和各所领导对区域中心工作大力支持。为确保区域中心组织建设和运行工作的顺利开展,中心成立管委会和管委会办公室。

区域中心管委会由各研究所负责装备建设的所领导组成,职责包括:制定中心发展战略规划;制定和修改管理办法,并监督执行;建立中心设备共享运行机制;决定中心设备运行收费原则,批准收费标准;批准中心内设备共享的奖励范围和额度等。管委会办公室由区域中心各所装备建设主管部门负责人或相关人员组成,职责包括:贯彻执行管委会做出的各项决定;协助管委会制定中心发展战略规划;制定中心收费标准,提出中心奖励方案;负责中心仪器设备日常运行管理工作;协调解决中心运行过程中有争议的事项;检查中心各所仪器设备运行状况等,第一届管委会办公室主任由上海微系统所胡善荣研究员担任。

大型仪器列表

编号仪器名称仪器型号仪器用途
1250KN万能材料试验机ZWICK Z250TEW 
2高温真空万能试验机SDZG300/+1600脆性材料室温强度(抗折、抗压、抗拉、断裂韧性),脆性材料高温强度(抗折、抗压、抗拉、断裂韧性)
3高温粘度仪RHEOTRONICV1600粘度
4低周疲劳试验机MTSLandmark 370金属材料疲劳试验
5X射线应力分析仪G3应力测试
6机械式蠕变试验机-2Kappa 50化学吸附仪-程序升温还原/脱附(TPR/TPD),金属材料蠕变持久性能
7机械式蠕变试验机-1Kappa 50金属材料蠕变持久性能
8X射线成像仪phoenix microme|x(Ndt/analyser s 180)内部结构(分辨率0.5μm)
9XRDD8 AdvanceX射线掠入射衍射,织构测试,应力测试,高温X射线衍射(室温~1200℃),X射线粉末衍射
10电子探针显微分析仪EPMA-1720元素面扫描分析,元素线扫描分析,元素定量分析,能谱分析,波谱定性分析,样品形貌分析
11高温拉曼光谱仪HR 800常规拉曼测试,常温偏振拉曼光谱测试,常温偏振拉曼光谱测试,高温拉曼测试,高温拉曼测试
12电感耦合等离子体光谱(ICP-OES)Optima 8000元素分析
13高压化学吸附仪AutoChem HP 2950化学吸附仪-程序升温还原/脱附(TPR/TPD)
14电感耦合等离子体原子发射光谱仪Spectro ARCOS元素分析
15电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)NexION 300D元素分析
16X射线衍射仪X· Pert Powder高温X射线衍射(室温~1200℃),X射线粉末衍射
17同步热分析仪STA449F3相变、比热容、热晗、DSC
18高温导热仪LFA-PT 1000/1250热扩散系数
19高分辨电感耦合等离子体质谱仪Nu ATTOM元素分析,同位素分析
20超低本底液体闪烁计数器LSC-LB7β放射性核素测量
21Merlin compact 扫描电子显微镜Merlin compact材料电镜能谱分析,材料电镜EBSD,材料微观结构形貌
22X波段高功率测试平台50MW X波段速调管VKX8311B,1200W X波段固态放大器AM61.11.4S-61-61PR4,X波段速调管油缸MV4.720.699ART,X波段速调管聚焦线圈电源320A/40V,X波段信号分配与射频前端SMX-X11XX波段加速结构加速梯度,X波段加速结构开闭环稳定性,X波段加速结构老练
23扫描探针显微系统Cypher VRS表面形貌及力学性质测量
24扫描离子电导显微镜SICM细胞表面超微成像
25无液氦稀释制冷机系统Triton200 
26原子力显微镜 
27新型多功能光电流谱实验系统-深能级瞬态谱仪DLS-83D 
28电子束蒸发仪Explorer14 
29真空快速退火炉As-one100 
30远红外太赫兹FTIR光谱仪vertex80V 
312-30微米变温红外椭圆偏振光谱仪IR-VASEMarkII 
32X射线衍射仪M4L 
33扫描探针显微镜SPM 
34扫描电子显微镜–扫描电子显微镜扫描电子显微镜 
35双离子束沉积系统LDJ-2A-F150 
36原子力显微镜-ICONDimension ICON原子力显微镜EFM/KFM/MFM模式,原子力显微镜SCM/CAFM/SSRM模式,原子力显微镜形貌测试
37场发射扫描电子显微镜-聚焦离子束系统Zeiss Crossbeam 540三维重构,二维形貌表征(含EDS),TEM样品制备,纳米加工(沉积、刻蚀)
38傅里叶变换离子回旋共振质谱仪solariX  XR 7.0T ESI金属离子配合物的气相化学分析,复杂混合物分析,分子成像,高级蛋白质分析,小分子分型
39质控检测装置Unfors Xi质量控制检测
40高分辨蛋白质分析质谱仪Q Exactive Plus 
41高效液相色谱-三重四级杆质谱联用仪QTRAP 5500超高效液相色谱
42太赫兹红外光谱仪TP-S800u材料的透射、吸收等光学性能的测量
43太赫兹时域光谱及成像装置TAS7400TS材料的透射、吸收等光学性能的测量
44曙光高性能集群系统曙光CB60-G16量化计算,分子动力学模拟
45光谱型成像椭偏仪Nanofilm_EP4SE检测和分析薄膜的椭偏参数,薄膜的光学常数、介电常数和厚度等的检测和分析
46X射线辐照仪MultiRad 160高能X射线辐照,样品的高能X射线辐照
47飞行时间二次离子质谱仪SurfaceSeer元素分析,表面质谱分析,薄膜成分分析元素深度分布(200nm以上),表面离子成像,二次离子质谱分析,表面质谱分析,元素深度分布(200nm以内)
48二次离子质谱仪熔盐样品制备及暂存系统STX-800H多孔材料浸渗性测试
49近红外紫外多色图像分析系统ODY CLx SYSTEM CONFIG 00;GBBOX-Chemi-XL1.4多功能成像仪,近红外双色图像分析,扫描电泳凝胶
50高平均功率高亮度电子束装置平台驱动激光器(Argos)和光阴极制备和传输系统(无)光电性能,光谱响应测量,光电子发射能力测量,光电性能
51放射性标记化合物制备系统Tri04-03/C072007/300-1011-vARC/PET-MF-2V-IT-I放射性标记化合物的制备
52光活化定位显微镜N-STORM Microscope荧光成像
53实时细胞分析系统ACEA  xCELLigence  RTCA  DP实时细胞分析,细胞
54数控加工中心MVL-818高精度机械加工
55数控车床LY-206高精度机械加工
56炉底升降式真空钎焊炉LZ-160-13高真空钎焊
57激光干涉仪DYNAFIZ粗糙度、平面度、面型分析,粗糙度
58三坐标测量仪LKV1076+尺寸、形状、位置精密测量
59车铣复合加工中心PD/B-TMC-V3高精度机械加工
60纳米压痕仪Nano Indenter G200材料表面或薄膜的硬度、杨氏模量
61小动物活体成像系统LB983 NightOWL动物代谢,小动物行为,纹理样本的密度,靶向分子检测,荧光、X光或生物发光成像,动物行为观察,样品表面形貌扫描,小鼠,荧光生物制品的观察,细胞,药物代谢检测
62TIRF活细胞工作站Leica AF7000细胞,荧光成像
63共聚焦荧光显微镜Leica SP8荧光生物制品的观察,荧光成像
64激光热导仪LFA457激光热导仪
65原子力显微镜(B)Multimode-8样品表面形貌扫描,粒径及表面电势,材料表面及断面形貌观察、颗粒尺寸分析,观测样品表面形貌、粒径测量及分布、三维图像、相图、力曲线等,观测样品表面形貌、粒径测量及分布、三维图像、相图、力曲线等,材料表面及断面形貌观察、颗粒尺寸分析,样品表面形貌扫描
66生物钙离子比例成像测量分析系统Ti-E检测电压,电流,电阻等
67低温强磁场测试系统TL/S15/17/52/13电子束蒸发
68多靶射频磁控溅射系统LAB500SPX射线衍射物相分析
69深低温强磁场微波调制输运系统Oxford霍尔系数测试
70VGF低缺陷晶体生长系统非标集成超晶格材料生长
71拓扑绝缘体材料表征系统D30RX射线衍射物相分析
72光电角度测量仪TA US 500-57 AAT红外光谱分析
73动态激光测量仪VERIFIRE QPZ红外光谱分析
74近红外光学相干断层显微成像(OCT)系统TELESTO-II材料表面形貌测试
75低温超导光学磁体Oxford SM4000-10霍尔系数测试
76傅里叶变换红外光谱仪Bruker IFS66v/S红外光谱分析
77太赫兹相干光源发射系统FIRL-100检测信号频率
78三坐标CC220光学玻璃、晶体的面型、透过波前、材料均匀性测试
79激光干涉仪sk540光学玻璃、晶体的面型、透过波前、材料均匀性测试
80激光干涉仪sy212材料表面及断面形貌观察、颗粒尺寸分析
81数控小磨头加工中心42c材料加工
82原子力显微镜(A)Multimode-8样品表面形貌扫描,材料表面及断面形貌观察、颗粒尺寸分析,粒径及表面电势,观测样品表面形貌、粒径测量及分布、三维图像、相图、力曲线等,观测样品表面形貌、粒径测量及分布、三维图像、相图、力曲线等,材料表面及断面形貌观察、颗粒尺寸分析
83激光共聚焦拉曼光谱仪XPLORA  INV拉曼光谱,荧光成像
84激光扫描共聚焦显微镜Leica TCS Sp5荧光生物制品的观察,荧光成像
850.5L 高压反应釜PARR45680.5L 高压反应釜
86场发射透射电子显微镜Tecnai G2 F20 S-TWIN纳米颗粒大小形态和粒度的测定,结构分析及微区成分分析,材料的显微组织形貌、晶体结构的观察与分析,微区成分分析,材料的显微组织形貌
87真空试验设备KM-1000-1200 
88快速高低温试验箱TE-10-70-W 
89高低温试验箱SDJ401 
90溅射台(旧)MSI50x6-L磁控溅射
91ICP等离子体刻蚀机(深硅)STS MPX HRM SystemICP刻蚀
92激光共聚焦显微镜A1细胞培养
93冷场发射扫描电镜S-4800S4800冷场发射扫描电镜测试分析
94场发射透射电镜Tecnai G2 F20 S-TWIN场发射透射电镜显微分析
95光学镀膜机OTFC-900CBI镀膜
96RIE等离子刻蚀机903eRIE刻蚀
97倒装焊机FC150倒装键合,六寸片加工
98离子束刻蚀系统IBE-A150IBE刻蚀,IBE刻蚀
99等离子体增强化学气相沉积机(PECVD)Plasmalab System 100PECVD
100ICP等离子体刻蚀机(Ⅲ-Ⅴ)Plasmalab System 100 ICP180ICP刻蚀
101半导体参数测量仪(高精度探针台)4200-SCS/F+SUSS PM8半导体参数测量,Keithley所内电学测试
102激光共聚焦拉曼光谱仪LABRAM HR拉曼测试-所内,拉曼测试-所外,拉曼测试-325-所内,拉曼测试-325-所外,低(变)温测试,低(变)温测试-325,拉曼光谱
103原子力显微镜-DimensionDimension 3100原子力显微镜形貌测试,原子力显微镜SCM/CAFM/SSRM模式,原子力显微镜EFM/KFM/MFM模式
104热场发射扫描电子显微镜Quanta 400 FEG场发射电镜
105电子束曝光机JBX-5500ZA电子束曝光
106晶片键合机CB6L晶片键合
1076英寸双面对准光刻机MA6/BA6光刻
108电子束蒸发机(金属)ei-5z电子束蒸发
109溅射台LAB 18镀膜,磁控溅射
110激光解理机AccuScribe Titan激光划片
111400兆超导核磁共振仪(有机所)400兆400核磁
112流式细胞仪BD FACSArray材料成分定性分析,细胞
113KM-0.8真空寿命试验设备KM-0.8热真空试验
114KM-1(2)真空试验设备KM-1热真空试验
115电子自旋共振顺磁波谱仪JEOL-FA200电子自旋,自由基及过渡金属离子检测
116微弧度量级束散角平行光检测系统J506光刻曝光
117微控氧化扩散炉L45BII-29BII/ZM材料加工
118偏中心光测量仪300 DUAL材料加工,
119高精度阀位控制掺杂系统200cc分子量及分布检测
120碳纤维基结构表面中低频误差测量仪INF350-LP样品表面形貌、三维图像及相图、力曲线等
121拓扑绝缘体材料制备系统R450微细图形制备,超晶格材料生长
122双柱坐标镗床T42100金属切削加工
123磁流体晶体减薄及抛光系统NUBULA-UPF金属切削加工
124三坐标PRISMO金属切削加工
125数控车床FTC180金属切削加工
126晶体材料光学元件自由表面成形系统IL300金属切削加工
127KM-1.8冷背景超高真空试验设备KM-1.8热真空试验
1281000真空试验设备1000热真空试验
129KM-1(改)真空试验设备KM-1热真空试验
130WG10B高温试验箱WG10B温度试验
131WG05B高温试验箱WG05B温度试验
132SDJ001F温湿度试验箱SDJ001F温度试验
133SD705F温度试验箱SD705F温度试验
134VC7034温度试验箱VC7034温度试验
135微处理器控制的返修系统ERSAIR 550A芯片BGA焊接
136数字显微镜KH-7700材料表面及断面形貌观察、颗粒尺寸分析,材料表面及断面形貌观察、三维图像及相图、力曲线等
137单边可调双工位成型/切脚模具FP-1MAS-2S芯片整形
138KM-1有油真空试验设备KM-1热真空试验
139VCS7048-10温度试验箱VCS7048-10温度试验
140LDS振动台V8-440力学环境试验
141KM1.5真空试验设备KM1.5热真空试验
142UD振动台SA30/S452T VWIN力学环境试验
143热释光读出器RE2000外照射个人剂量测量
144高纯锗反康能谱仪GMX-50放射性核素分析
145超低本底液体闪烁谱仪LSC-LB7测定氚以及碳14的含量
146超低本底α、β计数器MPC-9604总α、总β分析
147EI-HR(EI高分辨(GC-TOF气质联用仪))Premier CAB088化合物分子离子和碎片离子EI高低分辨质谱信息,EI高分辨,有机化合物的定性、定量分析,化合物精确分子质量测定(小数点后4位),材料成分定性分析,分子结构、CAS号及EI质谱信息检索,材料成分定性分析,EI/HR
148扫描核子微探针及PIXE分析与离子辐照墨尔本大学型B离子束,离子束分析,微细图形制备,微细图形制备,离子束辐照,材料的化学元素定量分析,材料中部分金属的微量和少量分析,高纯材料的杂质分析,离子束注入,元素分析,H离子,He离子,元素分析,离子束辐照,离子束分析,离子束注入,微细图形制备,
149离子束分析系统4MV-1高纯材料的杂质分析,高纯材料的杂质分析,高纯材料的杂质分析,材料中部分金属的微量和少量分析,高纯材料的杂质分析,材料中部分金属的微量和少量分析,离子束分析,材料成分定性分析
150100KeV电磁同位素分离器研制离子束注入,材料加工,离子束辐照
151四兆伏静电加速器4UHH离子,He离子,材料中元素的定性和半定量分析,材料中元素的定性和半定量分析,氮、氧含量分析,高纯材料的杂质分析,高纯材料的杂质分析,高纯材料的杂质分析,材料中元素的定性和半定量分析,高纯材料的杂质分析,氮、氧含量分析,离子束注入,离子束辐照,材料中部分金属的微量和少量分析,高纯材料的杂质分析,材料中元素的定量分析
152电感耦合等离子体质谱系统X7元素定量,高纯材料的杂质分析,高纯材料的杂质分析,高纯材料的杂质分析,材料中大部分金属的痕量分析,材料中大部分金属的痕量分析,材料中部分金属的微量和少量分析,材料中部分金属的微量和少量分析,高纯材料的杂质分析,元素定量
153太赫兹时域光谱装置Z-1材料的透射、吸收等光学性能的测量
154大功率超大带宽半导体可调谐激光器GP2-XP光学玻璃、晶体的面型、透过波前、材料均匀性测试,光学玻璃
155MTF传递函数测量仪非标高纯材料的杂质分析,材料的弯曲强度分析,材料的维氏硬度分析,精细陶瓷的断裂韧性试验方法(开槽法、压痕法)
156阴极荧光扫描电子显微镜SIGMA 300材料表面及断面形貌观察、颗粒尺寸分析
157数控小磨头加工中心ICP180微细图形制备
158光束操控及接收中继光路检测系统7707A红外光谱分析
159X射线衍射貌像仪Bede-scan无机非金属材料的显微结构,材料表面及断面形貌观察、颗粒尺寸分析,材料表面及断面形貌观察、颗粒尺寸分析,无机非金属材料的显微结构,X射线衍射物相分析
160高分辨率X射线衍射仪Philips,X‘pert-MRD单晶薄膜材料的X光衍射
161磁流变加工系统ESY-10材料加工
162数控小磨头加工中心EPINEAT材料加工
163EI高分辨(GCTof)PT001859(GCT-CA0176)EI/HR,提供化合物分子量、碎片信息,EI高分辨,分子量测定,有机化合物的定性、定量分析,提供化合物分子量、碎片信息
164LEO 1530vp扫描电子显微镜LEO 1530VP材料成分定性分析,材料表面及断面形貌观察、颗粒尺寸分析,材料定性分析,材料成分定性分析

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